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C60-20S 離子源系統(tǒng)雖然所有離子束都會濺射或蝕刻，但我們的一些系統(tǒng)的表面是專為高效和快速濺射而設(shè)計的。濺射光束有三個特點(diǎn)：高電流、大光斑尺寸和寬視場。這些特性的結(jié)合意味著它們可以在大面積上盡快輸送大劑量的離子，以優(yōu)化蝕刻速率。

GCIB-10S 離子源系統(tǒng)是一種高性能10千伏氣體團(tuán)簇離子束，用于快速、低損傷濺射和更高質(zhì)量的表面分析。GCIB 10S提供了大量有用的功能，包括實(shí)時集群大小測量和內(nèi)置樣本電流成像系統(tǒng)，以幫助您充分利用實(shí)驗(yàn)。

GCIB-40 離子源系統(tǒng)是一種40 kV氣體團(tuán)簇離子束，產(chǎn)生團(tuán)簇離子聚焦束，用于需要對分子離子敏感的分析應(yīng)用。GCIB在較大程度地減少碎片和從表面去除完整分子方面具有單獨(dú)的的能力。在40千伏電壓下工作的GCIB 40提供了優(yōu)異的電離產(chǎn)率，進(jìn)一步增強(qiáng)了分子信號。

GCIB-70 離子源系統(tǒng)是一種70 kV高性能氣體團(tuán)簇離子束，可產(chǎn)生高度聚焦的團(tuán)簇離子束，用于高分辨率成像SIM，具有沒有可以比較的的靈敏度。在SIMS中使用氣體團(tuán)簇束的好處現(xiàn)在已得到充分證實(shí)；高質(zhì)量團(tuán)簇在濺射有機(jī)、生物和聚合物材料時非常有效，可以產(chǎn)生高產(chǎn)量的完整分子離子。